温度补偿角度相位失配３５５ｎｍ紫外激光器
杨厚文１，２，程文雍１＊，王军华１，３，刘兆军３，李晓芳１，３
（１．bet365官网网址，山东济南２５０１００；２．山东大学晶体材料国家重点实验室，山东济南２５０１００；
３．山东大学信息科学与工程学院，山东济南２５０１００）
摘要：为研制高稳定、高转换效率的实用化小型紫外激光器，采用ＬＤ端面泵浦Ｎｄ：ＹＶＯ４
激光晶
体，Ⅰ类角度相位匹配ＬｉＢ３Ｏ５（ＬＢＯ）晶体进行腔内倍频，Ⅱ类角度相位匹配ＬＢＯ 晶体进行腔内
和频，基于比例微分积分（ＰＩＤ，ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎ　ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ　ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｔｉｏｎ）补偿方式的数字温控模块精确
温度调节，补偿非线性晶体角度相位匹配误差，研制了一台输出波长为３５５ｎｍ 的小型紫外激光
器。研制的激光器在重复频率为１５ｋＨｚ、ＬＤ泵浦功率为１３．３３Ｗ 时，３５５ｎｍ 激光平均输出功率为
１．２４Ｗ，ＬＤ输出波长为８０４ｎｍ，不在Ｎｄ：ＹＶＯ４
晶体吸收峰（８０８ｎｍ），但ＬＤ泵浦光到紫外激光的
转换效率仍达到９．３％；激光器的输出脉冲宽度为９．８ｎｓ，光束质量因子Ｍ２ｘ
和Ｍ２ｙ
分别为１．８和
１．７，２ｈ内输出功率不稳定度为０．４５％。通过调节温度补偿非线性晶体角度相位失配，为实现高稳
定、高转换效率的实用化紫外激光器提供了技术参考。
关键词：全固态激光器；紫外激光；非线性频率转换；角度相位匹配；温度补偿
中图分类号：ＴＮ２４８．１　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１００５－００８６（２０１５）１２－２３００－０７